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学习松下展示热记录方式的BD-ROM母盘制作技术

来源: 作者:日经BP 发布时间:2008-01-07  (阅读次数:)  查看更多关于: 热记录 BD-ROM母盘制作技术 的文章
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松下电器产业在日前举行的ISOM’04会议上,就用来降低播放专用蓝光光盘——“BD-ROM”母盘成本的技术发表了演讲。该技术是指以热记录方式将凹坑图案刻入无机类光刻胶中。其特点是与采用电子束(EB)母盘制造设备的情况相比,能以更便宜的设备制造设备。

作为使用热记录的母盘制造技术,索尼已发表过名为PTM(相变母盘制作)的技术,并已决定在BD-ROM量产中采用。对于在量产中的应用,松下电器表示“不便对此发表评论”(演讲者),不过据称该技术已达实用水平。

整个光盘的抖动值不足6%

与索尼PTM一样,松下电器此次也使用了由蓝紫色半导体激光器与开口数(NA)高达0.95的物镜组成的光学系统。记录膜采用作为追记型光盘而闻名的TeOx类材料。另外,通过在TeOx膜与形成此膜的玻璃底板之间设置热隔离层,可避免激光的热量散失到玻璃底板上。具有加强凹坑侧壁的作用。热隔离层采用的是有机材料,但并未公布详细情况。热隔离层利用旋涂法形成。

松下电器利用上述方法制作了光盘母盘,并以此研制成功了单面单层25GB的BD-ROM。整个光盘面的播放信号抖动值(Jitter)均不足6%(使用限制均衡器时)。记录膜面上的光功率为1.6mW,线速度为4.0m/s。

还验证了相当于100GB的母盘制作技术

该公司形成了仅包括2T Mark(2T刻录标志)的凹坑图案,并以此对该项母盘制作技术的分辨率进行了验证。结果证实,可形成单面单层相当于50GB(2T Mark长110nm,轨道间隔215nm),以及单面单层相当于75GB(2T Mark长90nm,轨道间隔76nm)的凹坑图案。另外,还证实了沟道图案(Groove Pattern)相当于单面单层100GB的160nm间隔。


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